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极端温度下MEMS惯性开关的阈值特性

《IEEE Transactions on Electron Devices》：Threshold Characteristics of MEMS Inertial Switches Under Extreme Temperatures

【字体： 大 中 小 】 时间：2026年04月14日 来源：IEEE Transactions on Electron Devices 3.2

编辑推荐：

　　

　　

摘要：

为了确保微机电系统（MEMS）惯性开关在恶劣环境中的可靠运行，尤其是在极端温度下，本研究全面考察了它们在不同温度下的阈值特性。通过将低温或高温加载模块集成到冲击系统中，开发了一种组合冲击-温度加载系统。在从
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