采用二维ZnS纳米片的高性能Ag/ZnS/Ag MSM紫外光电探测器

《IEEE Transactions on Electron Devices》：High-Performance Ag/ZnS/Ag MSM Ultraviolet Photodetector Using 2-D ZnS Nanosheets

　　

摘要：

采用Ag/ZnS纳米片/Ag结构在热氧化的Si/SiO2基底上制备了一种高性能的金属-半导体-金属（MSM）光电探测器（PD）。ZnS纳米片活性层是通过一种简单且成本效益高的水热法合成的。银（Ag）电极通过交叉指形阴影掩模的热蒸发沉积形成MSM结构。该器件的光响应特性在365nm的紫外（UV）光照下进行了研究。在3V的偏压下，该器件表现出良好的性能，实现了82.5 A/W的高响应度（R）和……4……62×1013 的量子效率（EQE）为28000%。此外，该PD具有快速响应特性，上升时间为82.76ms，下降时间为80.20ms，证实了其适用于快速紫外传感应用。