超快激光刻槽技术用于高性能透明显示器的制造

《Optics & Laser Technology》：Ultrafast laser grooving for high performance transparent display

　　

张胜浩|郑华|陈远瑞|周璐|李华丹|吴涛|魏丹梅|魏晨晨|杰拉尔多·吉列尔莫|刘叶|徐淼|徐伟|宁洪龙|贾宝华

摘要

构建高性能的图案化电路对于实现低成本、薄厚度、高透光率和高稳定性的显示屏至关重要，这满足了日益增长的透明显示屏需求。与传统的电路制备方法（如电镀、沉积和丝网印刷）不同，我们提出了一种基于低成本钠钙玻璃激光刻槽后印刷导电浆料的透明显示屏基板制备方法。该方法通过激光参数（功率、扫描次数、扫描速度和重复频率）能够精确控制电路线宽（LW）和纵横比。使用皮秒脉冲激光在钠钙玻璃上制造了微米级刻槽，其线宽比传统方法制作的线路窄70微米。文中介绍了可外推的烧蚀参数n_sat和k_n，从而能够在100微米线宽范围内精确控制加工深度。制备出的导电线路具有优异的导电性（<0.1 Ω/mm）并且与玻璃基板的粘附性强，使得该显示屏基板性能卓越。已经成功制作出透明显示屏原型，证明了该方法在透明显示屏基板制造方面的巨大应用潜力。