通过图像识别和电压反馈，在喷射电化学沉积（Jet ECD）技术中实现3D微尺度金属结构的自动化闭环制造

《Chemical Engineering Journal》：An automated closed-loop fabrication of 3D microscale metal structures via image recognition and voltage feedback in Jet ECD

　　

文琳翔|陈博如|任万飞|刘宝华|林春仁|杨亚斌

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  提出了一种基于图像识别的电压反馈多循环边缘定位策略，用于喷射电化学沉积（Jet ECD）技术，实现了沉积速率与阳极运动轨迹之间的实时同步。
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  实现了无需支撑结构的3D微结构的完全自动化闭环制造，包括悬垂柱（角度可达80°）和多段螺旋铜结构。
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  揭示了沉积速率的非线性特性，表明基于线性拟合的电压补偿方法存在不足，强调了多循环边缘定位的必要性。
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  制造的铜结构质量优异，纯度高达98.5%，晶粒尺寸细小均匀（约0.3微米），晶体取向随机，表面粗糙度低（Ra = 18.54纳米）。